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光柵式位移傳感器

光柵式位移傳感器是利用計量光柵的莫爾條紋現象進行位移測量的，主要由光源、標尺光柵、指示光柵和光電器件等部件組成，光電器件接收到莫爾條紋光強信號經電路處理后可得到兩光柵的相對位移。測量范圍為0.001~10m；測量精度達到0.2~1μm/m；優點是測量精度高、量程大、響應快、輸出為數字量、易于實現數字化測量和自動控制、具有較高的抗干擾能力、可實現動態測量等；缺點是對環境要求高、成本高、當自身膨脹系數與被測量物體不一致時，易造成測量誤差等。